Скрайбирование (несквозная резка) - одна из наиболее распространенных лазерных технологий, начавшая активно внедрятся еще с 1970х годов.
Лазерное скрайбрирование пластин из различных материалов (кремний, сапфир, ситалл, поликор, керамика, стекло, арсенид галлия, тонкопленочные элементы) выполняется для последующего разделения пластины на отдельные элементы по заданному контуру. Процесс осуществляется путем нанесения на поверхность сплошной канавки или прошивки близкорасположенных отверстий. Ширина риски (канавки) при этом может составлять от 20 мкм.
Лазерное скрайбирование, по сравнению с алмазным обеспечивает целый ряд преимуществ:
- значительно большая точность обработки и разделения пластин на отдельные элементы
- отсутсвие микротрещин и сколов, остаточных напряжений - за счет отсутсвия механического контакта с режущим инструментом
- отсутсвие износа режущего инструмента
- воможность получения надрезов с ровными и чистыми краями без загрязнения микросхем отходами резки
- малая область воздействия и минимальная зона термического влияния
- возможность нансения более глубоких, по сравнению с механическими методами, надрезов, без приложения усилий к разделяемому материалу.
- экологичность процесса
- 100% повторямость
Технология скрайбирования реализуется на следующих комплексах серии МЛП: